10.3969/j.issn.1001-523X.2017.15.005
发光二极管行业MOCVD设备工程设计分析
简述发光二板管行业MOCVD设备构成、安全措施、工程设计方面的要求及对设计规范的理解,对类似工程建设项目提供一定的帮助和参考作用.
MOCVD、安全措施、工程设计
44
TN312.8(半导体技术)
2017-11-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
7-8
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10.3969/j.issn.1001-523X.2017.15.005
MOCVD、安全措施、工程设计
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TN312.8(半导体技术)
2017-11-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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