东丽创出纳米微细突起聚酯薄膜 ——由纳米表面控制应对半导体和电子部件的微细化

摘要：

日本东丽公司,这次,由以纳米等级精密控制2轴牵伸聚酯薄膜"卢米拉?"的表面突起高度,创出了没有粗大突起由来的表面缺点、平滑性优异的高品位和滑动性等操作处理性两兼备的薄膜.
本开发品启动以微细化日益进展的半导体和电子部件用的功能性薄膜和这些制造工艺薄膜等为中心,对广泛用途展开.已经结束中试规模的技术确立,今后尽快完成量产体制.

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在线出版日期：2022-03-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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