压电倾斜镜的自校正PID高精度跟踪控制

摘要：

压电倾斜镜是一种集光、机、电、控于一体的复杂强耦合非线性元器件.然而,由于压电材料迟滞非线性的存在,很难实现对倾斜镜倾斜角的高精度跟踪控制.为了对其进行有效控制,建立了倾斜镜带有扰动的单输入单输出模型,并采用自校正PID控制算法构成闭环控制实现动态跟踪定位.相应的开闭环实验结果表明:系统闭环后的输入输出跟踪曲线最大误差达0.66％,平均误差达0.10％,比开环性能有大幅度提高.也证实了极点配置自校正PID算法对倾斜镜跟踪控制系统的有效性.

关键词：压电倾斜镜、迟滞非线性、自校正PID、动态跟踪

所属期刊栏目：34

分类号：TH744(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61108038;教育部“春晖计划”科研合作项目Z2011069;河南理工大学博士基金资助项目60407/010

在线出版日期：2015-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：520-524