10.3969/j.issn.1006-4311.2023.03.031
氦气纯度低导致PVD腔室冷泵异响问题的分析方法
冷泵是PVD设备重要的组成部分,主要负责保持腔室内的真空环境,它利用高纯度氦气的压缩膨胀循环来达到冷板低温,通过低温冷板捕捉腔室内的气体达到高真空度的环境.若冷泵出现故障,将直接影响腔室内的真空度,间接地影响晶圆的加工质量;本文主要介绍由于氦气纯度低导致冷泵异响的一种分析方法.
冷泵、PVD设备、氦气纯度、冷泵异响
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TB655(制冷工程)
2023-02-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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