氦气纯度低导致PVD腔室冷泵异响问题的分析方法

摘要：

冷泵是PVD设备重要的组成部分,主要负责保持腔室内的真空环境,它利用高纯度氦气的压缩膨胀循环来达到冷板低温,通过低温冷板捕捉腔室内的气体达到高真空度的环境.若冷泵出现故障,将直接影响腔室内的真空度,间接地影响晶圆的加工质量;本文主要介绍由于氦气纯度低导致冷泵异响的一种分析方法.

关键词：冷泵、PVD设备、氦气纯度、冷泵异响

所属期刊栏目：42

分类号：TB655(制冷工程)

在线出版日期：2023-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：94-96