MEMS三维角度传感器设计研究

摘要：

为了实现高精度的角度测量,研发了一款MEMS三维角度传感器,明确了从结构设计、电路设计、软件开发至组装测试的研发流程.最终,成功研发的MEMS三维角度传感器是一款数字输出的低成本三维角度传感器,采用成熟的工业级MEMS芯片,内置滤波算法和补偿算法,更大程度消除误差,通过数字方式直接输出X/Y/Z三轴的角度数值,具有体积小、重量轻、精度高等特点.

关键词：三维角度传感器、研发流程、精度高

所属期刊栏目：41

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2022-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：75-79