蓝宝石衬底检验与自动化技术的应用研究

摘要：

Ⅲ-V族GaN基材料和器件的外延层选择生长在蓝宝石衬底上,主要是蓝宝石衬底具有高稳定性,其生产技术成熟以及机械强度高,易于处理和清洗等优点,该行业已进入大尺寸量产及高精度制造的品质要求,故蓝宝石衬底应用到自动化检验设备是必然发展的趋势.自动化检测技术满足了蓝宝石衬底的广泛检测项目和要求,为衬底制造业的品质和效率作保障.本文介绍蓝宝石衬底应用自动化检测技术,探讨检测技术与自动化装置在制造业上的作用意义,以及自动化检测分类应用.

关键词：蓝宝石衬底、检测技术、自动化

所属期刊栏目：39

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2020-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：203-204