10.3969/j.issn.1006-4311.2013.31.023
射频源在刻蚀设备中的应用
介绍了射频源的工作原理,以及在刻蚀设备上的应用。通过自动匹配网络实现真空腔体内输出功率的大小。
射频源、刻蚀设备、匹配网络
TN86(无线电设备、电信设备)
2013-11-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
45-45,46
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10.3969/j.issn.1006-4311.2013.31.023
射频源、刻蚀设备、匹配网络
TN86(无线电设备、电信设备)
2013-11-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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