10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2017.06.026
基于图像配准的扫描电镜图像误差校正
扫描电子显微镜(SEM)是表征纳米材料和纳米结构的重要测量仪器.扫描电镜在环境的影响下会产生图像失真,尤其在微纳尺度范围内会产生较大的测量误差.为了修正SEM图像的测量误差,提出基于图像配准的图像误差校正方法.该方法采用基于特征属性的图像配准技术,通过加速稳健特征算法提取图像特征点并构造描述矢量,建立失真图像的空间变换模型,从而恢复样品的真实图像.实验证明该方法能够有效地校正扫描电镜图像,提高样品形貌观测的准确性和精度.
扫描电镜、观测精度、图像配准、SURF算法、误差校正
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TP391.41(计算技术、计算机技术)
国家自然科学基金资助项目51205063;福建省教育厅项目JA14032
2018-01-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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