CVD金刚石涂层拉伸模具内孔的抛光装置研制

摘要：

在CVD金刚石膜抛光机理研究的基础上,采用模块化的设计思想,对抛光装置的模具装夹及传动模块、抛光头及传动模块、高频感应加热模块、抛光装置床身模块进行了设计,完成了CVD金刚石涂层拉伸模具内孔的抛光装置的研制.用此装置抛光在保证较高的抛光效率的同时可以获得较好的表面质量.

关键词：CVD金刚石涂层、抛光、拉伸模具

分类号：TH13

资助基金：国家自然科学基金51275232;南京航空航天大学研究生创新基地实验室开放基金20150509;中央高校基本科研业务费专项资金资助

在线出版日期：2017-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：24-26,34