工艺参数对多弧离子镀TiAlN涂层铝含量和硬度的影响

摘要：

为研究不同工艺参数对多弧离子镀制备TiAlN涂层性能的影响规律,设计了L9(34)正交试验表,并通过试验研究了弧电流、衬底负偏压、氮气/氩气流量比以及腔体压强对涂层Al含量和硬度的影响规律,得到了最佳工艺参数优化组合.结果表明:影响Al含量的因素按重要性排序依次是:腔体压强、氮气/氩气流量比、衬底负偏压、弧电流.影响涂层硬度的因素按重要性排序依次是:弧电流、氮气/氩气流量比、腔体压强、衬底负偏压.

关键词：多弧离子镀、TiAlN涂层、正交分析、Al含量、硬度

分类号：TG174(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金51275247;江苏高校优势学科建设工程资助项目

在线出版日期：2017-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：15-19