基于超声辅助的UV-LIGA光栅制备技术研究

摘要：

光栅在通信、光存储及光谱分析领域具有广泛的应用。对超声辅助UV-LIGA技术制备光栅的可行性进行了试验研究。试验中两次利用超声的特殊效应，实现不同的辅助功能。1)采用超声辅助显影，通过改善光刻胶模沟槽内的物质传输，提高光刻胶模结构的显影效率和显影质量。2)在后烘之后、显影之前对光刻胶结构进行超声处理，通过在空气中对光刻胶模结构进行超声处理，有效降低SU-8胶模在电铸过程中的溶胀。选取优化的工艺参数，采用侧向冲液电铸方式，获得了镍基光栅。

关键词：光栅、超声、辅助

分类号：TH741.6(仪器、仪表)

在线出版日期：2014-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：163-166