固结金刚石线锯锯切硅片的正交试验研究

摘要：

对固结金刚石线锯锯切硅片的工艺参数进行了正交试验研究.分析了工件进给速度、锯丝线速度和锯丝张紧力对硅片表面粗糙度的影响,获得了基于降低硅片表面粗糙度的最佳工艺参数.在本试验范围内,最佳工艺参数为:工件进给速度为0.5mm/min,锯丝张紧力为0.22MPa,锯丝线速度为1.5~1.8m/s.

关键词：硅片、固结金刚石线锯、正交试验研究

所属期刊栏目：39

分类号：TG56(金属切削加工及机床)

在线出版日期：2011-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：13-15