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10.16576/j.cnki.1007-4414.2022.01.008

有负载的闭式静压气浮导轨动态仿真研究

引用
为避免因导轨承载力及刚度不足造成超精密机床加工精度不合格,建立闭式静压气浮导轨仿真模型,利用Fluent采用动态网格的动态仿真计算方法对气浮导轨承载力及刚度进行接近于实际的精确仿真计算,并结合简单孔式节流理论验证动态仿真计算的正确性.结论显示:动态网格计算结果与简单孔式节流原理相符;导轨负重50 kg时其承载力大于负重30 kg时的;在0.016 mm≤h0≤0.02 mm范围内,导轨刚度与承载力值均与d1的值呈正相关;在0.016 mm≤h0≤0.022 mm范围内,闭式气浮导轨承载力值与h1的值呈正相关,刚度则反之;在0.016 mm≤h0≤0.026 mm范围内,导轨承载力的值与d值呈正相关,而刚度的最大值则随d值增大而变小;受h2值影响较小的性能有导轨的刚度值、偏心量值与承载力值.

闭式气浮导轨;动态网格;动态计算;影响规律

35

TH133.35

中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目ZD17002

2022-03-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共6页

26-30,34

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1007-4414

62-1066/TH

35

2022,35(1)

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