10.16576/j.cnki.1007-4414.2018.06.064
残余应力对涂层材料性能的影响及测量方法
简述了两种涂层沉积工艺:化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD),并介绍了CVD制备氧化铝涂层的现状;简述了涂层材料存在的力学问题,及残余应力对涂层性能的影响;介绍了常见的残余应力测量方法,展望了拉曼光谱在氧化铝涂层残余应力测量中的发展前景.
沉积工艺、涂层材料、残余应力、拉曼光谱
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TH74(仪器、仪表)
2019-03-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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