硅片多线切割机主辊变形的研究分析

摘要：

对硅片多线切割机关键部件主辊的变形进行了研究，通过主辊的建模，对其受力分析，通过静力学有限元分析求解出结果。通过对市场上目前主流机型的主辊变形分析对比和变形对切割硅片质量影响的对比，得出主辊设计的一些关键参数。重点是对硅片多线切割机的研究发展有一定的指导意义。

关键词：多线切割、ANSYSWorkbench、主辊变形

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2015-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：32-33