工件粗糙度非接触测量

摘要：

阐述应用压光电传感器的逆压电效应和光电传感器来测量工件的表面粗糙度.在压电传感器组上被输入一定的电压时,压电传感器组驱动测量装置上的反射镜产生偏转,将激光源的激光束反射到加工工件的表面进行光学扫描.当激光束经过工件表面反射到光电传感器时,光电传感器将按照工件表面反射情况,产生相应的光电流.当光电传感器上的光电流强度发生突变时,会产生一个电脉冲.将这些脉冲数据输入计算机,通过计算就可测量出被测量工件的表面粗糙度.

关键词：粗糙度、可逆压电效应、压电晶体、扫描电压

所属期刊栏目：20

分类号：TP242(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：10-11