10.3969/j.issn.1007-4414.2002.01.033
微机电系统的进展分析与研究
系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统,微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺,以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用.介绍了我国在发展微机电系统所做的努力.提出我国必须走研究与应用并重的道路,使微机电系统的研究走向产业化,才能为我国在微电子工业的第二轮国际竞争中争取到应有地位.
微机电系统(MEMS)、微机械器件、加工工艺、应用、产业化
15
TP272(自动化技术及设备)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
72-75