面向晶圆图的芯片定位方法

摘要：

针对在依据晶圆图进行芯片分选时出现的芯片错位问题,提出了一种面向晶圆图的芯片定位方法.基于晶圆上芯片分布特点,采用跳点优化后的A*算法进行路径规划,搜寻绕过工艺控制监测器(PCM)区域的最优路径,并按芯片的理论间隔距离移动,实现粗略定位;采用改进后的LINE-2D形状匹配算法对当前位置进行亚像素精度级的校正,实现精确定位.选择不同规格的晶圆在芯片分选机上进行多次实验,所提出的方法可基本解决芯片错位的问题,同时可提高芯片定位精度,满足芯片生产需求.

关键词：芯片定位;晶圆图;路径规划;LINE-2D

所属期刊栏目：39

分类号：TP23(自动化技术及设备)

在线出版日期：2021-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：32-36