基于LabVIEW的迈克尔逊干涉微位移测量方法研究

摘要：

针对传统干涉条纹人工计数测量方法稳定性差、人为误差大的缺点,提出了一种迈克尔逊干涉条纹图像处理的方法.该方法以CCD相机采集干涉图像,基于LabVIEW平台进行图像处理.根据干涉条纹中心区域暗斑区域面积呈周期性变化的规律,通过对干涉条纹进行图像增强、中值滤波、区域选择、灰度均值计算等分析步骤,对干涉条纹计数,进而测得物体的微小位移量.实验结果表明,该方法实现了迈克尔逊干涉0.02 mm微小位移量的精确测量,测量误差最小为0.3％.与传统方法相比,其稳定性、误差、精确度都有较大提升.

关键词：迈克尔逊干涉、干涉条纹、LabVIEW、图像处理

所属期刊栏目：39

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金青年科学基金资助项目;陕西省教育厅科学研究计划重点项目

在线出版日期：2021-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：8-11,16