提拉法涂胶膜厚均匀性研究

摘要：

针对提拉法涂胶工艺中膜厚的均匀性较难控制，影响因素很多的情况。利用流体计算软件Fluent对提拉法涂胶的整个提拉过程进行仿真，同时结合提拉法涂胶实验，探究影响液膜均匀性的2个重要因素：提拉速度和静置时间。仿真结果和实验结果均表明，提拉速度越大，液膜均匀性越差；圆柱基底放入烘箱前，在空气中放置时间越短，膜厚均匀性越好。这对优化提拉法涂胶工艺，提升膜厚均匀性均有重要的意义。

关键词：提拉法涂胶、液膜均匀性、数值仿真

所属期刊栏目：34

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金50905173

在线出版日期：2016-08-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10