10.3969/j.issn.1001-2257.2014.12.008
显微镜物镜精密调焦装置的研究
提出了利用 TRUM 30型旋转超声电机为驱动元件的显微镜物镜精密调焦装置。对调焦装置的工作原理和机械结构进行了介绍和分析,设计了调焦装置的零件并对其进行了有限元分析,得出了调焦装置调焦的理论分辨率。对调焦装置进行了实验,得出了其调焦分辨率关于驱动电压信号频率的参数变化曲线,并给出了显微镜物镜运动位移随时间变化曲线。
超声电机、显微镜物镜、精密调焦、有限元分析
TH742(仪器、仪表)
2015-01-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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