10.3969/j.issn.1001-2257.2014.03.005
MOCVD气源输运技术研究
利用GaN MOCVD设备的气源输运系统结构,分析了单稀释MO源管路和双稀释 MO 源管路的工作原理及特点,提出了 MO 源摩尔流量的计算公式和一种零死区管路设计方案;并且把管路压差控制和气体自动补偿技术应用到了 MOCVD 设备中。
MOCVD、MO源管路、压差控制、气体自动补偿
TN305(半导体技术)
2014-04-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
18-20,21