一种双工位交换工作台的动力学与控制联合仿真

摘要：

针对一种IC制造装备中的双工位交换工作台系统的结构,建立其动力学模型.根据系统运动自由度与控制变量较多、运动轨迹较复杂的特点,依据动力学与控制系统分别建模的思想,在ADAMS软件中建立其运动仿真模型,在Matlab/Simulink中建立其运动控制系统,利用两者的软件接口实现双工位交换工作台系统的联合仿真.通过仿真分析,优化了系统的结构.

关键词：双工位交换工作台、联合仿真、运动仿真、运动控制

分类号：TH113.1

资助基金：国家重点基础研究发展计划资助项目2009CB724205;国家高技术研究发展计划资助项目2009AA04Z148

在线出版日期：2012-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38