基于激励-响应的隔振系统刚度分布测试方法

摘要：

为了提高超精密机电系统的运动精度,隔离环境振动对其运动性能的影响,超精密机电系统广泛应用了高性能的超精密隔振系统.隔振系统通常由若干个性能一致的隔振器组成,如果各个隔振器的性能不能完全一致,则会导致负载的多自由度运动耦合,影响隔振系统的隔振性能.针对该问题,以隔振器等边三角形排布的隔振系统为例,研究隔振系统刚度分布对其隔振性能的影响,通过建立隔振系统动力学模型,得到各种刚度分布情况下特定点的频响曲线,分析曲线随刚度分布变化的规律,提出一种基于激励-响应的隔振系统刚度分布的测试方法.

关键词：高性能隔振系统、刚度分布、激励-响应法、频响曲线

分类号：TH113.1

资助基金：国家“九七三”计划项目课题2009CB724205;国家“八六三”目标导向项目2009AA04Z148

在线出版日期：2012-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3-7