10.3969/j.issn.1001-2257.2009.05.009
硅微电容式加速度计的闭环控制技术研究
论述了闭环控制的原理,即通过静电力反馈来实现平衡控制.并通过计算保证了闭环控制系统的稳定性.可见,闭环工作下的电容式加速度计的稳定性、精度和线性度等都得到了提高.
电容式加速度计、闭环控制、线性度、带宽
TP271.4(自动化技术及设备)
河南省科技攻关项目082102210111
2009-06-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
31-32
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10.3969/j.issn.1001-2257.2009.05.009
电容式加速度计、闭环控制、线性度、带宽
TP271.4(自动化技术及设备)
河南省科技攻关项目082102210111
2009-06-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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