PDFF控制器在直线电机驱动平台中的应用

摘要：

对应用于半导体封装设备金丝球邦定机的高速高精度直线电机XY平台进行了控制器设计.设计目标是高速高精度响应,以及在外界干扰和参数不确定性因素影响下的鲁棒性.通过对PI控制器、PDF控制器和PDFF控制器的性能比较,系统选择PDFF控制器作为速度环的控制器,PID控制器作为位置环控制器的双环控制架构.根据降阶的系统模型利用基本CRS算法对控制器各个参数进行优化.仿真和实验结果证明,该控制方案具有良好的响应性能和鲁棒性,加速度可以达到5 g,调整时间为4 ms以内.

关键词：直线电机、系统辨识、PDFF控制器、CRS算法

分类号：TP273.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2009-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24