磁控溅射中频电源仿真研究

摘要：

磁控溅射中频电源及其辉光放电负载是一个典型的强非线性时变系统,对该系统建模并求其解析解是相当困难的.使用Simulink对磁控溅射中频电源建模,对电源工作时各种工况下输出电流波形进行了研究,研究表明,这种仿真方法对电源系统设计有效,可以推广应用.

关键词：磁控溅射、电源、脉宽调制、仿真

分类号：TP312(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2005-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：69-71