10.3969/j.issn.1001-2257.2005.03.003
振子框架式微机械陀螺设计优化
采用多端口组件网络方法对振子框架式微机械陀螺(CGMG)进行设计,分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响.根据陀螺驱动模态频率和检测模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸.结果表明,该方法可以实现MEMS整体行为的快速仿真,并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响.
微机电系统、微机械陀螺、多端口组件网络、硬件描述语言
TH702;TH122(仪器、仪表)
国家自然科学基金50205022,50375125;国家高技术研究发展计划863计划2003AA404017
2005-04-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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