10.3969/j.issn.1001-2257.2001.04.005
净化搬运机械手及其控制系统
介绍净化搬运机械手的总体结构和主从配置的控制系统。它能在完成工作的同时,又能与洁净微环境接口密闭。经实际应用,效果良好。
净化搬运机械手、晶片架、洁净微环境
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TP241.2(自动化技术及设备)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
16-17
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10.3969/j.issn.1001-2257.2001.04.005
净化搬运机械手、晶片架、洁净微环境
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TP241.2(自动化技术及设备)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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