10.3969/j.issn.1001-2257.2000.06.012
莫尔信号传感器光栅倾斜角度对精密定位准确度的影响
介绍利用激光干涉莫尔信号的精密定位方法,给出激光莫尔信号传感器光栅设定角度误差时的莫尔信号位移特性,以此说明了光栅设定的角度倾斜如何影响精密定位装置的定位准确度。
激光莫尔信号、光栅倾斜角度、精密定位、定位准确度
TP23(自动化技术及设备)
江苏省留学回国人员科研项目苏教外2000-392
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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