快速冷热循环对铝薄膜结构的影响

摘要：

针对铝薄膜进行了快速冷热循环试验,模拟焦耳热变化并研究影响机理.试验结果表明,对比于恒温加热,焦耳热循环变化会导致应力迁移速率持续变化,对铝薄膜表面形成变应力冲击,同时加剧表面疲劳微裂纹的形成与扩展,最终使表面小丘数量和体积显著增加,致使集成电路失效概率大幅提高.

关键词：铝薄膜、冷热循环、应力迁移、小丘

所属期刊栏目：26

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：国家级大学生创新创业训练计划项目201310354009;浙江省钱江人才资助项目QJD1302007

在线出版日期：2014-06-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：106-109