平晶等厚干涉条纹一体化检测方法研究

摘要：

为了测量平晶表面误差,提高检测效率和精度,定义了平晶等厚干涉条纹信息提取、分析以及计算的一体化求解机制,提出了基于最小二乘法的条纹边缘拟合方法.以某型号等厚干涉仪对条纹一体化检测为例,说明了该方法搭建条纹一体化检测平台求解条纹误差的正确性、有效性与实用性.

关键词：曲线拟合、等厚干涉条纹、图像处理、一体化检测

所属期刊栏目：49

分类号：TP391.9(计算技术、计算机技术)

资助基金：天津市教委科研计划资助项目;天津职业技术师范大学科研启动资助项目

在线出版日期：2020-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：75-80