10.3969/j.issn.2095-509X.2019.08.003
引线键合系统超声换能器的设计与仿真分析
超声换能器是引线键合系统的核心部件.给出了引线键合系统超声换能器的压电换能器和变幅杆的设计方法,设计了一款80 kHz集成电路引线键合用超声换能器,运用ANSYS软件建立其有限元模型并进行了动力学仿真.瞬态分析结果显示,换能器在受电压激励振动后至少要经过500个周期才能进入正常键合工作状态.
引线键合、超声换能器、有限元分析
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TH136
2019-09-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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