10.3969/j.issn.2095-509X.2019.04.013
基于SECS/GEM标准的 半导体设备配方管理系统设计
设计了一种基于SECS/GEM标准的半导体封装测试设备配方管理系统(RMS),该系统能够实现配方(recipe)程序的上传、下载、参数修改调优以及设备状态实时监控等,减少了半导体生产过程中使用程序错误、错误修改参数等因素产生的生产事故和良品率降低等问题.实际应用表明,该系统可缩短产品生产周期,提高设备的综合效率.
SECS/GEM标准、半导体、配方管理系统、设备自动化
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TP311.1(计算技术、计算机技术)
2019-06-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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