10.3969/j.issn.2095-509X.2014.08.002
太阳能晶硅电池激光刻槽设备光机系统设计
以激光在太阳能领域的应用为例,介绍了激光刻槽设备光机系统的组成及工作原理。该系统使用532 nm短脉冲激光器,采用双激光器四分光路、两级激光扩束设计,重点解决了两级扩束自动调焦的问题。在多晶硅片上进行了刻槽试验,槽宽20μm~40μm,刻线深度可调节,线宽及线深均符合要求。
激光刻槽、两级扩束、光机设计
TN249;TH122(光电子技术、激光技术)
2014-09-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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