10.3969/j.issn.1672-1616.2012.11.021
基于二维PSD的激光准直系统研究
提出了一种以二维位置敏感传感器(PSD)作为反馈元件来实现激光光束自动准直的设计方案,同时建立了测量控制系统的数学模型.经过测试与理论分析,激光光束的准直控制范围不大于20μm,且此准直系统具有结构简单、调节快速的特点,可以广泛用于零件形位误差检测与机械安装调试过程中快速建立光学基准.
激光、位置探测器、准直
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TN247(光电子技术、激光技术)
2012-07-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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