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10.3969/j.issn.1672-1616.2012.09.024

基于单LD-PSD的激光对中测量数学模型研究

引用
通过对传统对中方法中的百分表法的测量原理进行研究,建立了一种基于单LD-PSD的激光对中测量数学模型,并对该数学模型的测量原理进行了推导.按照此数学模型,在选取2个不同的转角、测得PSD上光斑的坐标后,就能够推算出两轴之间的对中偏差,得到两轴之间的相对位置关系.

激光对中、百分表法、轴偏差、角偏差

41

TH123.1

2012-07-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

84-86

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1672-1616

11-4974/TH

41

2012,41(9)

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