微驱动进给结构设计与模态分析

摘要：

介绍了用于半导体晶圆加工的超精密磨床微驱动进给结构的设计目标及设计原理,提出了微驱动进给结构模态分析的评价指标,对微驱动进给结构进行了模态分析,通过模态分析确认了微驱动进给结构的合理性.

关键词：微驱动、模态分析、驱动、有限元

所属期刊栏目：38

分类号：TG580.64(金属切削加工及机床)

资助基金：国家科技重大专项资助项目2009ZX02011-003

在线出版日期：2009-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：23-25,29