动力学蒙特卡罗法体硅湿法刻蚀工艺仿真的研究与开发

摘要：

对比分析了BKL、二叉树搜索以及树状结构搜索算法(KLS) 3种动力学蒙特卡罗法的实现过程,讨论了它们在MEMS各向异性湿法刻蚀工艺仿真计算中的应用,阐述了应用特点.使用树状结构搜索算法实现了加工仿真程序,以(111)晶面的原子移除过程为例,解释了蒙特卡罗法在刻蚀中的计算特点.开发的系统模拟了(311)晶面在KOH刻蚀中表面形貌的演化过程,刻蚀面能够很好地再现出表面的微观特征.基于KLS的方法能对湿法硅微结构工艺进行仿真计算,不同刻蚀阶段的微结构能与实验结果相一致,较为合理准确.

关键词：蒙特卡罗、单晶硅、湿法腐蚀、表面形态

所属期刊栏目：38

分类号：O414.2(理论物理学)

资助基金：江苏省自然科学基金资助项目BK2008311

在线出版日期：2009-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-16