10.3969/j.issn.1672-1616.2008.01.016
多级低压电渗流微泵的设计、加工及测试
设计了一种多级低压电渗流微泵.该微泵系统主要由直流电源和蚀刻微通道的芯片等部分组成.芯片是在一块硅基片上蚀刻6组尺寸不同的微通道,从而达到提供不同大小的流量和承受不同背压的目的.对芯片的加工工艺流程进行了说明,同时对微泵进行了试验研究.实验结果表明:在低压下,该泵能够驱动通道中的液体.
电渗流、微泵、微加工工艺、微流体实验
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O351.2(流体力学)
2008-04-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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