全自动键合机、划片机

摘要：

@@ 中国电子科技集团公司第四十五研究所是国家电子专用设备研究、开发、制造和相关制作工艺应用研究的专业研究所.是国内唯一具备提供IC制造关键设备--分步投影光刻机的研发单位,是国家IC封装设备产业化示范工程项目承担单位.

机标关键词：全自动、键合机、分步投影光刻机、电子专用设备、专业研究、制作工艺、制造、应用研究、项目承担、示范工程、科技集团、国家、关键设备、封装设备、单位、产业化、中国、开发、国内

分类号：TN3;TN4

在线出版日期：2005-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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