10.3969/j.issn.1672-1616.2000.04.004
静电梳微谐振子蟹脚型结构的振动特性
运用梁的理论讨论了静电梳微谐振子常见结构--蟹脚型结构的振动特性,推导出计算蟹型结构谐振频率的计算公式,分析了各几何参量对结构谐振频率的影响,并和静电梳微谐振子的另一种常见结构--直脚型结构的振动特性进行了比较.得到的结论对静电梳微谐振子的设计具有指导意义.
蟹脚型结构、静电梳微谐振子、谐振频率、微机械
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TH113.1
中国科学院资助项目59875055
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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10-11,14