精密微位移工作台的设计与性能分析

摘要：

在微位移技术中,柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构.结合精密磨床工作台高精度、高分辨率和大刚度的特点,以及满足工作台的工作行程和进给稳定性要求,设计了宏微两级精密进给机构;建立了柔性铰链导向机构的理论模型并进行刚度分析;详细给出了柔性铰链的参数设计、有限元分析和疲劳寿命分析.

关键词：微位移、柔性铰链、压电陶瓷、有限元分析(FEA)

所属期刊栏目：24

分类号：TH703.8;TH112.5(仪器、仪表)

资助基金：上海市重点学科建设资助项目B602;上海市科技攻关资助项目041111007

在线出版日期：2008-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-43,53