磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究

摘要：

采用CAD/CAE技术手段设计了一种新型磁悬浮超精密工作台,它是针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机而研制的快速步进、精密定位机构.利用磁悬浮技术将工作台悬浮在X、Y导轨上,消除了导轨的摩擦和磨损;直线电机无接触驱动实现了工件台的精密定位.用UG软件,构造了磁悬浮工作台的三维实体模型,并进行了机构运动分析仿真;用ANSYS软件进行了磁悬浮系统的电磁场分析,可得到磁通量密度,磁场强度,磁力,以及能量损耗和漏磁量;对磁悬浮工作台进行了有限元力学分析和结论优化,并结合实验测试,可使工作台在X、Y 方向能量满足0.02μm的定位精度要求以及达到0.1μm调焦精度和3.0μrad调平精度的要求.

关键词：CAD/CAE、磁悬浮、光刻、定位精度、有限元方法、电磁场分析、模态分析和测试

所属期刊栏目：20

分类号：TP391.72;TH112.4(计算技术、计算机技术)

资助基金：吉林省自然科学基金20020621

在线出版日期：2004-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：77-80