利用波形比较法进行高量程加速度传感器横向响应的测试研究

摘要：

提出一种高量程加速度传感器横向响应的测试方法--波形可识别的比较法,对高量程加速度传感器非敏感方向(横向)的输出特性进行测试研究.实验中采用自由落杆的方法,将已经标定过的传感器和带测试的传感器以背对背的方式进行安装,通过同时比较监控两通道的输出波形,可以确定器件的横向灵敏度.此方法简单可靠,并容易实施,对测试中产生的误差进行分析.

关键词：高量程微加速度传感器、横向响应、波形比较法、自由落杆、微机电系统

所属期刊栏目：31

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家973计划2006CB300405;国家863计划2007AA048315-1

在线出版日期：2010-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1019-1023