基于划痕曲线模糊特征分析法确定硬质薄膜临界载荷

摘要：

由于划痕实验曲线包含有大量无规则波动和跳跃,文中提出从划痕曲线的模糊特征分析角度,获取硬质薄膜的临界载荷值.针对氮化钛(TiN)硬质薄膜的纳米划痕实验结果曲线,文中进行较为深入的模糊特征分析,定义压头垂直位移相对变化率R_V和摩擦因数相对变化率R_F两个特征量,利用模糊逻辑的方法,确定临界载荷的大小.结果表明,划痕曲线模糊特征分析是一种有效的方法,能方便实现临界载荷的判别,进而为评价膜基界面结合强度提供一定依据.

关键词：纳米划痕法、临界载荷、模糊特征、隶属函数、氮化钛薄膜

所属期刊栏目：31

分类号：TG113.25(金属学与热处理)

在线出版日期：2010-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1015-1018