10.3321/j.issn:1001-9669.2009.06.010
微拉伸系统中微弹簧力学传感器的研究
研究应用于薄膜力学微拉伸测试系统的微弹簧力传感器.在单轴薄膜微拉伸系统的基础上,通过有限元模拟分析,研究以S型弹簧为结构基础的微弹簧力传感器.根据模拟结果,利用高精度线切割和UV-LIGA(Ultraviolet Lithographie GalVanoformung Abformung)技术制备出微弹簧力传感器,并在自制装置上进行标定.标定结果表明,由负胶工艺制备的自由式微弹簧力传感器有良好的线性,而且与Ansys模拟的弹性系数结果一致,为微拉伸测试系统提供良好的条件.
力传感器、ANSYS、微弹簧
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TN407(微电子学、集成电路(IC))
国家高技术研究发展计划863资助项目2006AA4Z326
2010-01-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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