纳米测量系统气体轴承瞬态研究

摘要：

为了消除气体轴承固有纳米级微振动,需要研究气体止推轴承上气和排气的瞬态过程.应用流体力学方程,计算得到气体轴承的外特性.设计一个适用于气膜厚度为微米量级的气体轴承实验机构,进行不同负载下气体轴承上气和排气过程的实验.实验结果较好地验证了理论分析的合理性,上气过程随着负载的增加出现初速度不为零的阶跃过程,排气过程中气膜厚度的变化随压强的变化呈现三次函数关系.为下一步控制研究提供重要的理论和实践基础.

关键词：纳米、气体轴承、微振动、瞬态、计量学

所属期刊栏目：31

分类号：TH133.35;TH711

在线出版日期：2009-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：584-587