计及毛细力作用时旋转式MEMS/NEMS致动器的吸合稳定性

摘要：

建立旋转式MEMS/NEMS(micro-or nano-electro-mechanical system)致动器的单自由度力学模型,研究毛细力对该类致动器吸合时的临界倾角以及临界电压的影响.得到临界倾角随结构特征尺寸的变化曲线,并对临界电压进行修正.研究没有外加电压引起的静电力作用时,旋转式MEMS/NEMS致动器在毛细力作用下的失稳现象,给出致动器的失稳准则,以及失稳时致动器的临界特征几何尺度.

关键词：微/纳电子机械系统致动器、吸合、稳定性、毛细力

所属期刊栏目：31

分类号：TN303;O317(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金10802057;国家自然科学基金重点项目10732080

在线出版日期：2009-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：391-395