MEMS材料力学性能的测试方法

摘要：

介绍国内外MEMS(micro-electro-mechanical system)材料力学性能的测试方法,包括纳米压痕法、薄膜打压法、梁弯曲试验、微拉曼光谱法、单轴拉伸法等.分析各种测试方法的优缺点、基本原理和最新进展.详细介绍单轴拉伸试验方法的试验原理、特点及发展现状, 在此基础上介绍作者们在MEMS材料单轴拉伸试验方面的阶段性研究成果,包括单轴拉伸试样设计、夹具设计、加载方法及应变测量技术等.试样和夹具的设计采用有限元方法模拟不同形状参数试样的拉伸试验过程,确定试样的外形和尺寸.应变测量采用的是激光干涉应变计法(interference strain /displacement gauge, ISDG),并用所研制的微小试样拉伸试验机,成功测得多晶铜薄膜材料的应力-应变曲线.

关键词：微电子机械系统、力学性能、薄膜、拉伸、激光干涉应变计法

所属期刊栏目：29

分类号：TN407(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金90405016;航空基础科学基金02I53067

在线出版日期：2007-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：409-418